[发明专利]固态金属有机源的集中供给系统

摘要

本发明提供一种固态金属有机源的集中供给系统，应用于金属有机化学气相沉积(MOCVD)和原子层沉积(ALD)制程设备，所述集中供给系统包括储罐、固态金属有机源、加热系统、载气供应源、压缩机、第一传输管道至第五传输管道、多个阀门，以及单个或多个金属有机化学气相沉积或原子层沉积制程设备。本发明应用于上述制程时，可避免使用钢瓶储存固态金属有机源的缺点，从根本上解决固态有机金属源使用中蒸气压不稳定的问题。例如通过恒温设备控制钢瓶温度而增加成本，运输、储存及使用过程中固态金属有机源因环境、温度等影响产生结块、沟流造成蒸气压不稳定，使用完需更换钢瓶而造成投入增加，也无法同时供给多个机台等缺点。