[发明专利]一种SC切型石英晶片在线研磨的测频测试方法有效
申请号: | 202010942378.9 | 申请日: | 2020-09-09 |
公开(公告)号: | CN112180160B | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 潘凌锋;郭彬;陈浙泊;陈一信;余建安;林建宇;颜文俊;林斌;周巍;白振兴;吴荻苇 | 申请(专利权)人: | 浙江大学台州研究院 |
主分类号: | G01R23/02 | 分类号: | G01R23/02;G01R29/027;G01R29/033 |
代理公司: | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人: | 董世博;赵志鹏 |
地址: | 318000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种SC切型石英晶片在线研磨的测频测试方法,包括单次扫频双谐振频率波形匹配功能、单次扫频谐振频率数据处理功能、单位时间内数据处理功能;本发明提供了一种处理效率高、操作便捷,数据精度高,双模频率精准区分的一种SC切型石英晶片在线研磨的测频测试方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 sc 石英 晶片 在线 研磨 测试 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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