[发明专利]一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的自动搜索方法有效
申请号: | 202010942393.3 | 申请日: | 2020-09-09 |
公开(公告)号: | CN112162145B | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 潘凌锋;郭彬;陈浙泊;白振兴;陈一信;林建宇;余建安;陈镇元;叶雪旺;颜文俊;林斌 | 申请(专利权)人: | 浙江大学台州研究院 |
主分类号: | G01R23/02 | 分类号: | G01R23/02;G01R29/027;G01R29/033 |
代理公司: | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人: | 董世博;赵志鹏 |
地址: | 318000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的自动搜索方法,自动搜索实现对SC晶片当前频率的搜索,并且根据自动搜索的不同结果进行不同的处理,若指定圈数内未搜索到频率则系统提示搜索异常报警,若搜索到一个频率则进行单频率跟踪测频流程,若搜索到两个频率则进行双频率跟踪测频流程;同时当系统出现测频异常且频率未到达停机阈值时,调用自动搜索功能重新搜索频率;本发明提供了一种处理效率高、数据精度高,双模频率精准区分的一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的自动搜索方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 sc 石英 晶片 在线 研磨 系统 自动 搜索 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学台州研究院,未经浙江大学台州研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010942393.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。