[发明专利]一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的跟踪测频方法有效
| 申请号： | 202010942420.7 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN112162149B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 潘凌锋;郭彬;陈浙泊;陈一信;林建宇;余建安;陈镇元;叶雪旺;颜文俊;林斌;吴荻苇 | 申请（专利权）人： | 浙江大学台州研究院 |
| 主分类号： | G01R23/02 | 分类号： | G01R23/02;G01R29/027;G01R29/033 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博;赵志鹏 |
| 地址： | 318000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的跟踪测频方法，包括双频率跟踪功能、单频率跟踪功能、测频参数初始化、扫频参数设置和两个功能之间的切换功能；本发明提供了一种处理效率高、数据精度高，双模频率精准区分的一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的跟踪测频方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sc 石英 晶片 在线 研磨 系统 跟踪 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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