[发明专利]双波段石墨烯探测装置、探测芯片及其制备方法

摘要

本发明公开了一种双波段石墨烯探测装置、探测芯片及其制备方法，双波段石墨烯探测芯片，包括：从下至上依次层叠设置的第一硅层、第一量子点增强的石墨烯层、第一环氧树脂胶层、第二硅层、第二量子点增强的石墨烯层、第二环氧树脂胶层；第一量子点增强的石墨烯层适于探测中波红外光、长波红外光、或甚长波红外光，第二量子点增强的石墨烯层适于探测可见红外光、短波红外光或中波红外光。采用本发明，对于光束具有非常大的调整空间，而且第一量子点增强的石墨烯层与第二量子点增强的石墨烯层是间隔开的且相互独立，可以实现对不同波长信号的分别采集，并工作在室温下，且探测率和响应速度优异，能够满足复杂环境下的探测需求。