[发明专利]抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法及应用有效
| 申请号： | 202010945223.0 | 申请日： | 2020-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN112159962B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 黄秋实;王占山;张哲;齐润泽;张众 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C23C28/00;C23C28/02 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 翁惠瑜 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法及应用，所述方法包括以下步骤：在基底上镀制极紫外多层膜；保持极紫外多层膜的真空环境不变，进行镁靶材和铝靶材的预溅射；将镀制有所述极紫外多层膜的基底重复交替运动到镁靶材和铝靶材的溅射区域，控制运动参数，完成镁膜层和铝膜层交替生长的铝/镁多层膜结构的镀制，形成铝镁混合保护层，所述铝/镁多层膜结构中，每层镁膜的厚度为1‑3纳米，每层铝膜的厚度为1‑3纳米；将镀制完成的基底取出真空腔，放置于大气环境中自发融合。与现有技术相比，本发明制备效率高，能大幅提高表面保护层的制作速度，保证极紫外多层膜的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 环境 侵蚀 紫外 多层 表面 保护层 快速 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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