[发明专利]一种飞秒激光双光子加工装置有效

专利信息
申请号: 202010945771.3 申请日: 2020-09-10
公开(公告)号: CN111999902B 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 陆建钢;张鸿州 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: G02B27/09 分类号: G02B27/09
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 杜阳阳
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种飞秒激光双光子加工装置,用于以光敏材料为工件,加工和制备扭曲结构液晶模版,空间光调制器加载三维螺旋结构的计算全息图;半波片设置在飞秒激光器的出射光路上,光阑设置在半波片的出射光路上,棱镜设置在光阑的出射光路上,扩束系统设置在棱镜的出射光路上,反射镜设置在扩束系统的出射光路上,空间光调制器设置在反射镜的出射光路上,第二半波片设置在空间光调制器的出射光路上,线性光学处理系统设置在第二半波片的出射光路上,显微镜系统设置在线性光学处理系统的出射光路上,压电台设置在显微镜系统的出射光路上,光敏材料放置与压电台上。本发明空间结构简单,具有极高的实用性,提高了制备扭曲结构液晶模版的效率。
搜索关键词: 一种 激光 光子 加工 装置
【主权项】:
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