[发明专利]MEMS压力传感器在审
| 申请号： | 202010945962.X | 申请日： | 2020-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN111928981A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 桑新文;高洪连;盛云 | 申请（专利权）人： | 苏州纳芯微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;B81B7/02 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 沈晓敏 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS压力传感器，包括器件板，所述器件板具有相对设置的第一表面和第二表面；所述器件板的第一表面上设置有岛结构、围设所述岛结构的固支结构、连接于岛结构和固支结构之间的四个梁结构，所述第一表面上还设置有由固支结构、岛结构和梁结构围设形成的膜结构；所述器件板的第一表面上还设置有分设于四个梁结构上的电阻装置，任意所述电阻装置均包括至少一个呈长方形的电阻，所述电阻均分别沿平行于各自的梁结构的延伸方向延伸。 | ||
| 搜索关键词： | mems 压力传感器 | ||
【主权项】：
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