[发明专利]学习装置、检查装置、学习方法以及检查方法在审
| 申请号： | 202010947201.8 | 申请日： | 2020-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN112614086A | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 塩见顺一 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06N20/00;G06N3/04;G01N21/956;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市上京区堀*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种学习装置、检查装置、学习方法以及检查方法，可减少学习用数据集容量，并实现高精度的基板检查。在学习装置中，第二输入部输入根据真缺陷的有无对第一数据中的假定缺陷图像进行了再分类的第二数据。学习部在第二数据中进行对于假定缺陷图像的加权来生成学习用数据集。学习部通过使用所述学习用数据集的机器学习，学习基板图像与缺陷的有无的关系来生成学习完成模型。在利用学习部的学习用数据集的生成中，当假定缺陷图像被再分类成具有真缺陷时，使多个权重系数之中，对应于真缺陷的重要度所选择的权重系数与所述假定缺陷图像相乘后，将所述假定缺陷图像分类成“有缺陷”。由此，减少学习用数据集的容量，并实现高精度的基板检查。 | ||
| 搜索关键词： | 学习 装置 检查 学习方法 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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