[发明专利]一种大角度入射红外硬质保护薄膜光学窗口有效

专利信息
申请号: 202010947461.5 申请日: 2020-09-10
公开(公告)号: CN112068227B 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: 刘华松;姜玉刚;杨霄;白金林;孙鹏;何家欢 申请(专利权)人: 天津津航技术物理研究所
主分类号: G02B1/14 分类号: G02B1/14;G02B1/115
代理公司: 中国兵器工业集团公司专利中心 11011 代理人: 刘二格
地址: 300308 天津*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明属于光学薄膜技术领域,公开了一种大角度入射红外硬质保护薄膜窗口,通过在Si基底一面设计大角度入射红外减反射硬质保护薄膜,其中选择高硬度的Si3N4薄膜作为最外层保护薄膜,在另一面设计大角度入射红外减反射薄膜,能实现高透过率、高硬度(20GPa)、大角度工作范围(0°‑70°)的红外硬质保护薄膜窗口的设计。结果表明,本发明将大大提高红外硬质保护薄膜窗口在不同入射角度范围内的性能,对于大角度入射高性能红外硬质保护薄膜窗口的离子束溅射制备具有重要的作用。
搜索关键词: 一种 角度 入射 红外 硬质 保护 薄膜 光学 窗口
【主权项】:
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