[发明专利]一种用于光学元件空间曲面抛光的机械手定位方法有效

专利信息
申请号: 202010947522.8 申请日: 2020-09-10
公开(公告)号: CN112192370B 公开(公告)日: 2021-12-21
发明(设计)人: 张昊;王朋;李伟皓;张洪顺;唐海瑞 申请(专利权)人: 天津津航技术物理研究所
主分类号: B24B13/00 分类号: B24B13/00;B24B1/00;B24B41/04
代理公司: 天津市鼎拓知识产权代理有限公司 12233 代理人: 刘雪娜
地址: 300000 天津*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明提供了一种用于光学元件空间曲面抛光的机械手定位方法,用以解决现有技术中机械手对空间曲面抛光时的定位问题并提高定位精度。所述机械手定位方法首先在光学元件上某定位区域加工直角标记作为工件坐标系,而后将元件固定在工作台上;控制机械手在定位区域内加工至少三个驻留斑,三个驻留斑的顺序连接线形成直角,作为加工坐标系;测量三个驻留斑在工件坐标系中的坐标和最大直径处的直径尺寸,计算加工坐标系相对工件坐标系的空间位置关系,并根据空间位置关系,调整机械手完成定位。本发明完成了空间光学曲面抛光时的机械手定位,定位精准,适用于空间曲面、离轴非球面抛光等工艺过程,加工精度高,同时提高了空间曲面的抛光效率。
搜索关键词: 一种 用于 光学 元件 空间 曲面 抛光 机械手 定位 方法
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