[发明专利]一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法有效
| 申请号： | 202010947576.4 | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN112025506B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 方泽波 | 申请（专利权）人： | 绍兴文理学院 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B41/06;B24B41/02;B24B47/04;B24B55/00;B24B41/00 |
| 代理公司： | 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285 | 代理人： | 邓爱民 |
| 地址： | 312000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅片打磨装置技术领域，且公开了一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法，包括工作板，所述工作板顶部的左右两侧均固定连接有安装板，两个安装板的顶部固定连接有横板，横板的顶部开设有五个通孔。本发明解决了现在的硅片在进行打磨的时候，不能够稳定的进行打磨，同时在打磨过程中往往会存在打磨力度调整不均会损坏硅片，会导致硅片在加工的时候，成品率降低的问题。本发明通过拉升机构的电机B工作，使得转轴B转动，转筒旋转，并且带动两侧的绳索移动，使得绳索另一端的环形底座向上可以稳定的移动，便于进行打磨，使得打磨更为稳定，方便进行使用，也保护了硅片在打磨时候不会被碎坏，提高的打磨硅片的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拉升式可 稳定 打磨 硅片 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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