[发明专利]一种单晶硅棒的制造方法有效
| 申请号： | 202010949545.2 | 申请日： | 2020-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN114164489B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 涂准;陈立军;邓浩 | 申请（专利权）人： | 宁夏隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 赵娟 |
| 地址： | 755199 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种单晶硅棒的制造方法，包括：加热融化坩埚中的混合硅料，得到混合硅液，混合硅料包括掺杂剂和多晶硅料，混合硅液用于拉制N根单晶硅棒；在拉制第N根单晶硅棒时，在所述差值大于预设值的情况下，计算混合硅液的重量与埚底料的重量的差值；按照第一拉晶参数在混合硅液中执行第一次拉晶操作，得到预设长度的第一段单晶硅棒；按照第二拉晶参数执行第二次拉晶操作，在第一段单晶硅棒上续接第二段单晶硅棒，得到目标长度的第一单晶硅棒。本实施例根据掺杂剂的分凝效应，在拉制第N根单晶硅棒时，分为两段进行拉晶操作，每次拉晶操作对应设置合理的拉晶参数，以使拉晶得到的第一段单晶硅棒和第二段单晶硅棒都可以被利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 制造 方法 | ||
【主权项】：
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