[发明专利]一种靶材R角与外周面一体成型的加工刀具及采用其的加工方法在审
| 申请号： | 202010953015.5 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112091251A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;闫安 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23B27/06 | 分类号： | B23B27/06;B23B5/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材R角与外周面一体成型的加工刀具及采用其的加工方法，所述的加工刀具包括刀头；所述的刀头包括主刀头，以及位于主刀头一端外周设置的至少三个R角加工齿，所述R角加工齿与主刀体一体成型，所述主刀头的外周面刃部用于加工成型靶材外周面，所述R角加工齿与靶材接触的一侧为弧形加工面，通过所述弧形加工面加工成型靶材R角。本发明特别针对靶材加工设计了一种R角和外周面一体成型的加工刀具，利用一个刀具能同时加工出靶材的R角和外周面，避免了在加工过程中换刀，缩短了加工时间，提高加工效率，也能防止因换刀导致的R角与外周面的对接处出现接刀痕迹，提高了产品良率，保证靶材表面能够正常溅射使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外周面 一体 成型 加工 刀具 采用 方法 | ||
【主权项】：
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