[发明专利]外差光栅位移测量装置有效
| 申请号： | 202010953595.8 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112097647B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 李文昊;刘兆武;姚雪峰;王玮;吉日嘎兰图;于宏柱;白宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G02B27/28 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种外差光栅位移测量装置，包括光源、读数头、光电接收模块和信号处理系统，光源用于产生两束重合、偏振正交且具有固定频差的偏振光；读数头用于接收两束偏振光，并分别入射到移动的测量光栅的表面生成分别包括第一偏振光分量与第二偏振光分量的+1级衍射光和‑1级衍射光，+1级衍射光和‑1级衍射光分别经读数头入射到光电接收模块；光电接收模块用于接收+1级衍射光的第一偏振光分量和第二偏振光分量及‑1级衍射光的第一偏振光分量和第二偏振光分量形成两路拍频信号；信号处理系统用于对两路拍频信号进行差分计算，实现测量光栅单次衍射4倍光学细分的位移测量。本发明可以避免光栅面形精度和光栅姿态误差对测量精度的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 外差 光栅 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
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