[发明专利]外差光栅位移测量方法有效
| 申请号： | 202010953637.8 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112097650B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 李文昊;刘兆武;王玮;于宏柱;吉日嘎兰图;姚雪峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G02B27/28 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种外差光栅位移测量方法，包括：S1、通过光源产生两束重合、偏振正交、频差且具有固定频差的第一偏振光和第二偏振光；S2、第一偏振光和第二偏振光分别进入读数头，经读数头转折后分别入射到测量光栅的表面产生分别包括第一偏振光分量与第二偏振光分量的+1级衍射光和‑1级衍射光；S3、通过光电接收模块接收‑1级衍射光的第二偏振光分量与+1级衍射光的第一偏振光分量及接收‑1级衍射光的第一偏振光分量与+1级衍射光的第二偏振光分量，干涉后形成两路拍频信号；S4、信号处理系统分别对两路拍频信号进行差分计算，实现测量光栅单次衍射4倍光学细分的位移测量。本发明可以避免光栅面形精度和光栅姿态误差对测量精度的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 外差 光栅 位移 测量方法 | ||
【主权项】：
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