[发明专利]灵敏度可调谐的基于谐振腔干涉结构的声波传感器有效
| 申请号： | 202010953759.7 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112254752B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 于长秋;黄海侠;周铁军;王宏腾;李海 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01D5/48 | 分类号： | G01D5/48 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 杨舟涛 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种灵敏度可调谐的基于谐振腔干涉结构的声波传感器，本发明通过热锁模的方法，将激光器输出中心频率锁定到参考谐振腔的透射谱线1/2位置，锁定后的信号经分束器送入传感器系统的干涉结构中，该信号经分路器分为两路，下一路经过由磁致伸缩材料实现的相位调制结构到达耦合器，上一路通过分路器和两个分路器构成两个用于干涉的谐振腔，其中上方的传感谐振腔接入用于声波检测的压电陶瓷换能器，这两个用于干涉的谐振腔的输出光束通过耦合器，与分路器分出的下路的光耦合出干涉结构，耦合器的中间输出端送入光电探测器，而后通过信号解调电路来处理信号，提取声波信息。该系统体积小，易集成，可进行声波信息的远程探测。 | ||
| 搜索关键词： | 灵敏度 调谐 基于 谐振腔 干涉 结构 声波 传感器 | ||
【主权项】：
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