[发明专利]一种电子显微镜在审
| 申请号： | 202010954075.9 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN114171361A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 何伟;李帅 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子显微镜，包括：电子源，用于产生电子束；物镜，用于聚焦所述电子束；调节极靴，可移动的设置在所述物镜与待测样品之间；第一驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述调节极靴在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述物镜的极靴方向朝向所述待测样品，所述第二位置为所述物镜的极靴方向朝向所述电子束的光轴。本发明提供的一种电子显微镜，实现电子显微镜在浸没式电子显微镜和非浸没式电子显微镜的切换，可以观察非磁性待测样品，也可以观察磁性待测样品，并且均能够获得高质量的图像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子显微镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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