[发明专利]用于微纳光学元件的检测系统及检测方法在审
| 申请号： | 202010955259.7 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112304968A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 魏丽欣;蔡永利;舒国文 | 申请（专利权）人： | 嘉兴驭光光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94;G01N21/95;G01N21/01;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人： | 郝文博 |
| 地址： | 314500 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于微纳光学元件的检测系统，包括：载物台，其上可放置待检测的微纳光学元件；匀光照明光源，配置成可为所述待检测的微纳光学元件提供匀光照明；准直光源，配置成可为所述待检测的微纳光学元件提供准直光照明；和图像采集单元，配置成可分别采集受到匀光照明的微纳光学元件的第一图像和受到准直光照明的微纳光学元件的第二图像。本发明所提供的检测系统及方法，可以实现对微纳光学元件表面进行自动检测，提高了检测效率以及检测结果的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光学 元件 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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