[发明专利]一种多晶硅尾气吸附装置及其工作方法在审
| 申请号： | 202010956007.6 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN111991985A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 莫修乾;徐昆仑;王丽亭 | 申请（专利权）人： | 江苏东方瑞吉能源装备有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04 |
| 代理公司： | 南京创略知识产权代理事务所(普通合伙) 32358 | 代理人： | 朱希敏 |
| 地址： | 212100 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅尾气吸附装置及其工作方法，包括容器本体，容器本体的底部中心安装连接有进气管，容器本体的顶部中心安装有出气管，容器本体的内腔安装有支撑结构，支撑结构包括斜向支撑板和竖向支撑板，容器本体的下端安装有指形管结构。本发明解决了以前的设备基本使用内部螺旋盘管的结构，在相同的空间内换热面积不够、吸附效果不好的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 尾气 吸附 装置 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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