[发明专利]一种靶材和背板的接合方法在审
| 申请号： | 202010959483.3 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN112091400A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 大岩一彦;姚科科;廣田二郎;中村晃;林智行;山田浩 | 申请（专利权）人： | 浙江最成半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/00 | 分类号： | B23K20/00;B23K20/02;B23K20/24 |
| 代理公司： | 宁波高新区永创智诚专利代理事务所(普通合伙) 33264 | 代理人： | 李鑫 |
| 地址： | 312000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种靶材和背板的接合方法，特点是包括以下步骤：(1)将内置加热器的金属包套整体预热到300‑400℃，然后放置在液压机的机床上；(2)将背板刚好插入到金属包套的凹槽中，将靶材置于背板上表面中央，再在靶材上表面放置与背板直径相同的压块；(3)将背板和靶材加热到300‑600℃，并向压块上表面施加3‑10kg/mm |
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| 搜索关键词： | 一种 背板 接合 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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