[发明专利]用于控制流体的流量的阀组件和系统

摘要

一种用于控制流体流量的阀组件包括阀体、阀、传感器芯片封装件、和控制器接口。所述阀体具有上游储器、下游储器、和用于将流体从上游位置传送至下游位置的阀座。所述阀具有可移动构件。所述传感器芯片封装件具有与所述阀耦接的至少一个传感器。所述控制器接口可通信耦接至控制单元、所述阀、和所述传感器芯片封装件。所述控制器接口将由所述传感器芯片封装件提供的至少一个参数值发送至所述控制单元。所述控制器接口接收用于调节所述阀的阀冲程的控制信号。所述阀的控制信号是基于所述至少一个测得参数值和由流体处理系统提供的至少一个其他参数值确定的。