[发明专利]一种单晶硅片干燥用烘干均匀的烘箱

摘要

本发明涉及单晶硅片技术领域，且公开了一种单晶硅片干燥用烘干均匀的烘箱，包括烘箱本体，所述烘箱本体的底部固定安装有固定脚，所述烘箱本体的前表面固定安装有安装块，所述安装块的内侧转动连接有转动盖板，所述烘箱本体的内部固定安装有烘干器，所述烘箱本体的前表面开设有连接槽，所述连接槽的内部滑动连接有连接架，所述连接架的顶部固定安装有连接底板，所述连接底板的顶部固定安装有第一安装架，所述第一安装架的内侧转动连接有转动块。该单晶硅片干燥用烘干均匀的烘箱，当使用者在使用时，使用者首先可以调节连接架在连接槽的作用下向前侧滑动，从而使该装置具备方便供料的优点，方便了使用者使用。