[发明专利]一种厚度测量装置在审
| 申请号： | 202010961504.5 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN112033327A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 邓攀;郝立猛;罗慧峰;徐智忠 | 申请（专利权）人： | 北京兆维电子（集团）有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 姜展志 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种厚度测量装置，包括四自由度工件台和厚度测量组件，所述四自由度工件台与所述厚度测量组件沿前后方向间隔分布，所述四自由度工件台具有四自由度移动件和安装在四自由度移动件驱动端的第一安装座，待测量的物件安装在所述第一安装座上，且其待测量部突出于所述第一安装座边缘，并朝向所述厚度测量组件，所述厚度测量组件具有测量部和二自由度移动件，且所述测量部安装在所述二自由度移动件的驱动端，所述二自由度移动件用以调节所述测量部的水平高度和沿左右方向的竖向倾角，通过设置四自由度工件台可使得工件沿前后方向和/或左右方向，同时还能使得其旋转并调节其沿左右方向的竖向倾角，从而使得其测量更加灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 厚度 测量 装置 | ||
【主权项】：
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