[发明专利]使用增材制造工艺形成先进抛光垫的方法和设备有效
| 申请号： | 202010961583.X | 申请日： | 2016-10-06 |
| 公开（公告）号： | CN112059937B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | S·嘎纳帕西亚潘;傅博诣;A·乔卡林甘;D·莱德菲尔德;R·巴贾杰;M·C·奥里拉尔;H·T·黄;J·G·方;M·山村 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24D11/00 | 分类号： | B24D11/00;B24D11/04;B24D3/28;B24D18/00;B24B37/24;B24B37/26;B24B37/22;B33Y10/00;B33Y80/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杨学春;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及使用增材制造工艺形成先进抛光垫的方法和设备。根据本公开的一或多个实施例，已发现具有改良特性的抛光垫可由诸如三维(3D)打印工艺之类的增材制造工艺来产生。因此，本公开的实施例可提供具有离散特征及几何形状、由至少两种不同材料形成的先进抛光垫，该等不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反应性稀释剂、加成聚合物前体化合物、催化剂及固化剂。举例而言，该先进抛光垫可通过自动化连续沉积至少一种聚合物前体组成物，继之以至少一个固化步骤而由多个聚合层形成，其中各层可表示至少一种聚合物组成物和/或不同组成物的区域。本公开的实施例进一步提供一种具有可以是互穿型聚合物网状结构的聚合层的抛光垫。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 制造 工艺 形成 先进 抛光 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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