[发明专利]一种铌酸锂波导的集成光子晶体光纤陀螺有效
| 申请号： | 202010961704.0 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN112066973B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 佘玄;范文;张彩妮;陈侃;毕然;舒晓武 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01C19/72 | 分类号： | G01C19/72 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铌酸锂波导的集成光子晶体光纤陀螺。本发明包括从下到上依次层叠布置的硅衬底、二氧化硅缓冲层和铌酸锂单晶薄膜，铌酸锂单晶薄膜在两侧分为第一台阶面和第二台阶面的两个高度不同的台阶面；在第一台阶面上集成布置光传输系统，在第二台阶面上集成布置谐振腔光路，光束在光传输系统和谐振腔光路中传导，实现光的低损耗谐振运动。本发明的光纤陀螺集成度高，减少元件之间的相对位置误差，使光学陀螺整体结构更加紧凑，从而提高光纤陀螺的可靠性和环境适应性；制作工艺流程简单，稳定性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铌酸锂 波导 集成 光子 晶体 光纤 陀螺 | ||
【主权项】：
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