[发明专利]一种差分输入输出式MEMS谐振器及其加工方法有效
| 申请号： | 202010961841.4 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN112073024B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 宋亚梅;鲍景富;周鑫;吴兆辉 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/17;H03H9/02;H03H9/05;H03H3/007;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京正华智诚专利代理事务所(普通合伙) 11870 | 代理人： | 何凡 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种差分输入输出式MEMS谐振器及其加工方法，包括：SOI支撑台、外接差分输入电极盘、外接差分输出电极盘、外接地电极盘、一维声子晶体支撑梁和谐振体；所述谐振体通过一维声子晶体支撑梁与SOI支撑台固定连接，形成悬浮结构；所述SOI支撑台的一端表面与外接差分输入电极盘固定连接，其另一端表面与外接差分输出电极盘固定连接；所述谐振体分别与外接差分输入电极盘和外接差分输出电极盘电连接；所述外接地电极盘固定在SOI支撑台上，并分别位于外接差分输入电极盘和外接差分输出电极盘的两侧；本发明通过降低谐振器的锚点损耗，提高器件的品质因数，解决现有技术存在的锚点损耗较大、品质因数难以提高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 种差 输入输出 mems 谐振器 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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