[发明专利]一种基于光栅读头组合的位移测量方法

摘要

本发明提供的是一种基于光栅读头组合的位移测量方法，属于精密测量领域。其特征是：所述测量方法由建立光栅尺位移测量系统模型1、划分测量区域2、各自由度读头组合分析3、规划运动轨迹4和最优读头组合选取5五个部分组成。根据光栅尺位移测量系统模型1可得一个描述光栅尺测量计数与运动台之间变化关系的测量模型，采用光栅尺测量计数即可间接求解运动台位置。划分测量区域2可得小范围内不同读头组合的测量差异，提高系统精确度。规划运动轨迹4根据运动台的运动特性，模拟运动台的运动轨迹，得到各个光栅读头的干涉条纹数，干涉条纹数所包含的位移信息经位移测量系统模型解算，输出运动台当前的位置信息即运动台的六自由度。最优读头组合选取5选取在不同区域内各自由度误差最小的读头组合，在最小解算误差读头组合有变化时，临界区域进行读头切换，对全量程范围内测量时各自由度读头组合进行优化。本发明可用于运动台位移测量、机床定位、校准等领域。