[发明专利]一种自适应束斑X射线衍射仪

摘要

本发明涉及一种自适应束斑X射线衍射仪，包括：X射线源系统，X射线滤波片，毛细管微会聚X光透镜，索拉狭缝，光管运动系统，高精度XYZθ1‑θ2五维运动系统，X射线探测器，闭环水冷系统或冷却风扇，CCD相机，电子学系统，控制系统和计算机；其中，X射线源系统、X射线滤波片和毛细管微会聚X光透镜成直线置于光管运动系统上；CCD相机的轴线通过样品中心；X射线探测器和索拉狭缝成直线安装于高精度XYZθ1‑θ2五维运动系统的θ2转角上；X射线探测器、CCD相机、电子学系统与计算机电连接；控制系统与光管运动系统、高精度XYZθ1‑θ2五维运动系统电连接；可根据样品待测点直径自适应的调节X射线束斑直径；具备X射线衍射和X射线荧光两种模式，可探测物相或元素的二维分布。