[发明专利]载置台装置、光刻装置以及物品制造方法在审
| 申请号： | 202010964290.7 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN112540511A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 栗原孝史 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及载置台装置、光刻装置以及物品制造方法。[课题]提供对微动载置台的定位的高精度化有利的载置台装置。[解决方法]载置台装置具有：粗动载置台；微动载置台；电磁致动器，配置于所述粗动载置台与所述微动载置台之间，在沿着所述粗动载置台的表面的方向上对所述微动载置台提供推力；以及控制部，控制所述电磁致动器，所述控制部根据所述粗动载置台的驱动开始位置，决定所述电磁致动器的控制参数。 | ||
| 搜索关键词： | 载置台 装置 光刻 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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