[发明专利]多波长激光器阵列及其制作方法有效
| 申请号： | 202010964578.4 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN112072470B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 梁松;剌晓波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/40 | 分类号： | H01S5/40;H01S5/10;H01S5/34 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种多波长激光器阵列及其制作方法，其中，该多波长激光器阵列，包括至少三个激光器设置于同一衬底上，其中，每个激光器包括：在所述衬底上依次生长的下脊波导层、中间有源层和上脊波导层；其中，至少三个激光器的中间有源层的有源材料的发光波长不同。本发明提供的该多波长激光器阵列及其制作方法，采用对接生长技术获得具有不同发光波长的增益材料，有利于提高激光器阵列光电性能的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 激光器 阵列 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010964578.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半导体光子器件及其制作方法
- 下一篇：菌袋一体机
