[发明专利]THz-TDS测试样品时反射脉冲干涉滤除方法、系统、介质及装置有效

专利信息
申请号: 202010967400.5 申请日: 2020-09-15
公开(公告)号: CN112255190B 公开(公告)日: 2023-05-02
发明(设计)人: 杨旻蔚 申请(专利权)人: 华太极光光电技术有限公司
主分类号: G01N21/3586 分类号: G01N21/3586;G06F17/14
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 邬嫡波
地址: 200433 上海市杨浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种THz‑TDS测试样品时反射脉冲干涉滤除方法、系统、介质及装置,包括:按照常规THz‑TDS测试方法,获取样品的时域信号TSam(t)以及样品的吸收谱信号A(f);对TSam(t)中的主脉冲与第一级反射脉冲进行时域分析,获取两者对应的时域延时量Δt;对A(f)进行N点离散傅里叶变换得到横坐标为光程差的吸收谱干涉曲线S(ti)和反射脉冲待滤波信号I(ti)=|S(ti)/N|2,(i=0,1,…,N‑1);结合Δt对I(ti)进行滤波迭代得到反射脉冲滤波后信号Inew(ti);将I(ti)和Inew(ti)进行比较得到对应滤波段的幅度衰减系数ai=[Inew(ti)/I(ti)]1/2,得到滤波修正后的离散傅里叶变换Snew(ti);对Snew(ti)进行离散傅里叶逆变换,得到滤除干涉后的吸收谱:Anew(f)=IFFT[Snew(ti)]。本发明无需先验获取样品色散信息或反射脉冲信号出现的精确时域位置,实现对于吸收谱反射峰干涉条纹高效率的滤波。
搜索关键词: thz tds 测试 样品 反射 脉冲 干涉 方法 系统 介质 装置
【主权项】:
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