[发明专利]一种半导体制冷元件的制造工艺及元件有效
申请号: | 202010968013.3 | 申请日: | 2020-09-15 |
公开(公告)号: | CN112038478B | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 余少非 | 申请(专利权)人: | 上海商皓电子科技有限公司 |
主分类号: | H10N10/01 | 分类号: | H10N10/01;H10N10/17 |
代理公司: | 上海大为知卫知识产权代理事务所(普通合伙) 31390 | 代理人: | 何银南 |
地址: | 200000 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种半导体制冷元件的制造工艺及元件,属于热电体制冷器制造领域,该制造工艺使用刻蚀、光刻等制造工艺和大批量的并行制造过程,不需要组装、调整,能够有效地提高半导体制冷元件的生产效率,降低半导体制冷元件的体积,使得半导体制冷元件适应狭小的空间使用,同时可有效地控制热电材料的一致性,降低热膨胀因素的影响,使用安全稳定,能够有效地提高半导体制冷元件的工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 制冷 元件 制造 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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