[发明专利]一种传感器、电子装置及传感器的制作方法在审
申请号: | 202010969802.9 | 申请日: | 2020-09-15 |
公开(公告)号: | CN112146684A | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 曹江浪;方鹏;李光林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
主分类号: | G01D5/12 | 分类号: | G01D5/12 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 黎坚怡 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请提供了一种传感器、电子装置及传感器的制作方法,其中,该传感器包括第一压电驻极体和第二压电驻极体;第一信号端金属电极,设置于第一压电驻极体的一侧面上,且朝向第一方向延伸;接地端金属电极,设置于第一压电驻极体和第二压电驻极体之间;第二信号端金属电极,设置于第二压电驻极体背离接地端金属电极的一侧面上,且朝向与第一方向垂直的第二方向延伸。本申请提供的传感器通过采用压电驻极体作为传感材料,具有质量轻、厚度薄、柔软性好等特点,且相应的制作工艺也较为简单,并使得相应成本也较低,且应用安装方便、应用范围广、检测灵敏度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 传感器 电子 装置 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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