[发明专利]检测熔体液面位置的方法、装置、设备及计算机存储介质在审
| 申请号： | 202010972692.1 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN111962145A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 李昊;胡斌;刘永亮;贾元成;张帅 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;沈寒酉 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种检测熔体液面位置的方法、装置、设备及计算机存储介质；该方法可以包括：从石英柱的测量端与待测液面相接触开始，按照设定的距离多次下降待测液面的位置，并在每次下降后，获取待测液面的实际位置以及测量端与测量端在待测液面形成的倒影之间的像素间距离测试值；根据待测液面在每次下降后的实际位置以及在每次下降后所获得的所述像素间距离测试值，确定液面实际位置与像素间距离之间的对应关系；在单晶硅生长过程中，获取石英柱的测量端与石英柱的测量端在熔体液面形成的倒影之间的实测像素间距离；根据实测像素间距离以及液面实际位置与像素间距离之间的对应关系，确定所述熔体液面的实测位置。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 体液 位置 方法 装置 设备 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】：
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