[发明专利]超纯水制造系统及超纯水制造方法在审
| 申请号： | 202010972940.2 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112520879A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 东都雅典;松井恭则;中村清一;小岛泉里 | 申请（专利权）人： | 野村微科学股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/04 | 分类号： | C02F9/04;C02F103/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 白丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超纯水制造系统及超纯水制造方法，即使使用杂质浓度高的原水，也能够有效地获得具有特别是降低了硼浓度的规定的水质的超纯水。本发明的超纯水制造系统是将杂质浓度非常高的原水有效地进行处理而得到规定的水质的超纯水的系统，对于其通水处理，依次具有将原水设定为碱性的第一pH调整机构、弱酸性离子交换装置、将弱酸性离子交换装置的处理水的pH设定为2～6的酸性的第二pH调整机构、脱碳酸装置、第一反渗透膜装置、将第一反渗透膜装置的处理水的pH设定为10～11的碱性的第三pH调整机构、第二反渗透膜装置及强碱性离子交换装置。 | ||
| 搜索关键词： | 超纯水 制造 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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