[发明专利]一种提高单层电容器键合强度的制造工艺在审
申请号: | 202010972975.6 | 申请日: | 2020-09-16 |
公开(公告)号: | CN111952267A | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
发明(设计)人: | 关秋云;吴继伟;杨国兴 | 申请(专利权)人: | 大连达利凯普科技股份公司 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L23/64;H01G13/00 |
代理公司: | 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人: | 毕进 |
地址: | 116630 辽宁省大连*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明属于电子元器件生产技术领域,公开了一种提高单层电容器键合强度的制造工艺。通过调整陶瓷基片粗糙度、基片清洗方式,调整溅射工艺,并在溅射金属电极后增加一次退火,即采用两次退火工艺。将单层电容器的键合强度提高至12.98gf,解决了键合点脱落问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 单层 电容器 强度 制造 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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