[发明专利]一种原子力显微镜多探针同时独立运动测量方法与装置在审
| 申请号： | 202010973495.1 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112964909A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 刘连庆;于鹏;施佳林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 王倩 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种原子力显微镜多探针同时独立运动测量方法与装置，包括并列设置的至少两个悬梁臂，每个悬梁臂末端均设有针尖；所述悬梁臂表面设有周期性分布规律的光栅结构，用于将照射到光栅结构的激光进行反射、并通过反射光探测器接收。本发明一套光路系统实现超近距离多个探针的区分与运动测量。具体方法是将不同波长的测量激光经过相同光路同时照射在多探针背面，采用不同特征尺寸的光栅结构作为多探针的物理标签，不同波长激光的高阶反射光被光栅结构以不同角度反射，从而达到分离光路的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原子 显微镜 探针 同时 独立 运动 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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