[发明专利]原子力显微镜一体化双探针快速原位切换测量方法与装置在审
| 申请号： | 202010973514.0 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112964910A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 刘连庆;于鹏;施佳林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 王倩 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及原子力显微镜一体化双探针快速原位切换测量方法与装置，包括铰链结构、两个悬臂梁、以及悬臂梁自由端设置的针尖构成的双探针；所述铰链结构为U字型本体，两个末端分别延伸有第一悬臂梁和第二悬臂梁，第一悬臂梁自由端和第二悬臂梁自由端分别设有第一针尖和第二针尖。本发明采用一体化双探针，利用探针夹的驱动功能驱动工作探针工作，因此只需要一套原子力显微镜的运动控制及测量系统就能够实现双探针快速的探针原位切换功能。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 一体化 探针 快速 原位 切换 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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