[发明专利]一种激光器结构、制作方法及硅基混合模块在审
| 申请号： | 202010973809.8 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112310812A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 秦璐;蔡文必 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/22 | 分类号： | H01S5/22;H01S5/30;H01S5/026 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭;陈淑娴 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光器结构，包括位于同一半导体芯片上的激光器主体和过渡脊波导结构，过渡脊波导结构设于所述激光器主体的出光端口一侧且与激光器主体之间设有深度超过激光器主体的有源区的中间槽；过渡脊波导结构具有第一宽度的第一端口和第二宽度的第二端口，其中第一端口的宽度大于或等于出光端口。本发明还公开了其制作方法以及在硅基混合模块中的应用，激光器结构设于硅基传输模块的光路中，第二端口与波导端口匹配且对准耦合。带有过渡脊波导结构的激光器结构可以提高激光器主体与硅基传输模块的耦合效果，使得激光器结构的设计方案不再受限于硅基传输端耦合效率的限制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光器 结构 制作方法 混合 模块 | ||
【主权项】：
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