[发明专利]一种基于玻璃盖板的声表面滤波器封装方法及结构在审
| 申请号： | 202010973819.1 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112367061A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 陈作桓;于大全 | 申请（专利权）人： | 厦门云天半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H9/02 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 连耀忠;林燕玲 |
| 地址： | 361000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种基于玻璃盖板的声表面滤波器封装方法和结构，包括：1)提供玻璃盖板和芯片晶圆，芯片晶圆第一表面设有焊盘和IDT功能区；2)在玻璃盖板上制作盲孔，并在盲孔开口侧的第一表面临时键合玻璃载板，将玻璃盖板另一表面进行研磨使得盲孔贯通形成通孔，该通孔内径从第一表面至另一表面逐渐减小；3)在芯片晶圆的第一表面覆盖绝缘层，并在绝缘层相对焊盘和IDT功能区的位置进行开口；4)将玻璃盖板与芯片晶圆粘合，并使通孔与绝缘层焊盘处的开口相对，绝缘层和玻璃盖板在IDT功能区形成空腔；5)拆除玻璃载板，并在玻璃盖板上制作金属连接件与焊盘电性连接。本发明避免了IDT功能区被外界湿气、腐蚀液等侵蚀，提高器件封装可靠性，一次性封装，可批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 玻璃 盖板 表面 滤波器 封装 方法 结构 | ||
【主权项】：
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