[发明专利]基于散斑场相位恢复的复杂光学曲面面形误差检测方法在审
| 申请号： | 202010973974.3 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112097681A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 何宇航;刘旭;刘勇;柴立群 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 曹鹏飞 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于散斑场相位恢复的复杂光学曲面面形误差检测方法，基于随机振幅掩膜板调制的波前恢复方案设计，采用随机振幅掩膜板对波前信息进行调制，将低空间频率分布的强度图案转化为高空间频率分布的散斑图案，有利于波前重建算法恢复高保真度的波前信息；将被测元件与随机振幅掩膜板由望远成像系统构成物像共轭关系，使得随机振幅掩膜板处的波前相位可以直接映射到元件的波前相位，不需要对随机振幅掩膜板的振幅信息事先进行标定；该方法使其测量精度与光斑采集的位置无关，可以应用于复杂光学曲面面形误差的高精度检测，测量精度的稳定性较高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 散斑场 相位 恢复 复杂 光学 曲面 误差 检测 方法 | ||
【主权项】：
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