[发明专利]一种单晶金刚石生长设备有效
| 申请号： | 202010974601.8 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112176406B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 侯荣华;彭俊杰;王红雪;刘敏强;宁树兴;柴喜红;文首名 | 申请（专利权）人： | 北京清碳科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/00 | 分类号： | C30B25/00;C30B29/04 |
| 代理公司： | 北京艾皮专利代理有限公司 11777 | 代理人： | 李德胜 |
| 地址： | 101300 北京市顺义区林河经济开发区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明适用于金刚石生产技术领域，提供了一种单晶金刚石生长设备；包括：机架；所述机架上固定安装有进气系统、冷却循环系统、电离室和沉积室；其中，所述电离室内部设置有自转动设置的电离筒；所述电离筒外侧设置有微波系统；所述电离筒内部设置有分气筒，所述电离室的输出端与沉积室的输入端连通；所述分气筒上阵列设置有出气孔，且所述分气筒外侧阵列设置有螺旋叶；所述分气筒底部设置有第二通道和第一通道，所述第二通道与分气筒内部连通，所述第一通道与电离筒内部连通，所述第一通道和调节腔与冷却循环系统循环连通。本发明很好地保证了生长金刚石的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 生长 设备 | ||
【主权项】：
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