[发明专利]一种由ITO废靶直接粉碎制粉并生产ITO靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202010974752.3 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112079627A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 文宏福;李鹏;叶俊峰 | 申请（专利权）人： | 韶关市欧莱高新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/457;C04B35/622;C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林 |
| 地址： | 512000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种由ITO废靶直接粉碎制粉并生产ITO靶材的制备方法，包括如下步骤：S1、将废靶材进行预处理得到预处理废靶材料；S2、将步骤S1得到的预处理废靶材料依次进行粗碎、中碎、粉碎得到废靶材粉末；S3、将废靶材粉末在500‑1000℃下煅烧得到ITO回收粉；S4、将ITO回收粉成型得到ITO生坯，ITO生坯在常压纯氧气氛条件下进行烧结得到ITO靶材。本发明将废靶材料预处理后进行三级破碎和粉碎工艺获得废靶材粉末，在适合温度下进行煅烧即得ITO回收粉，将ITO回收粉采用常规的成型和烧结工艺成型和烧结即可得到ITO靶材，ITO靶材纯度可达99.99％及以上，整体工艺简单易控，实现对废靶回收再利用，具有很好的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 直接 粉碎 制粉 生产 制备 方法 | ||
【主权项】：
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