[发明专利]聚合物及光致抗蚀剂组合物在审
| 申请号： | 202010976510.8 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112661877A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 宋旸;朴钟根;E·阿卡德;李明琦;刘聪;J·W·萨克莱;P·特雷福纳斯三世 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C08F8/00 | 分类号： | C08F8/00;C08F212/14;C08F220/18;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 乐洪咏;陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
公开了一种聚合物，其包含：含有叔酯酸不稳定基团的第一重复单元；以及具有式(1)的第二重复单元： |
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| 搜索关键词： | 聚合物 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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