[发明专利]一种掺杂稀土元素的梯度功能改性镍金镀层及其制备方法有效
申请号: | 202010976775.8 | 申请日: | 2020-09-17 |
公开(公告)号: | CN112176302B | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
发明(设计)人: | 王国伟;黄鹏;樊鹏飞 | 申请(专利权)人: | 苏州方林科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/16 |
代理公司: | 苏州卓博知识产权代理事务所(普通合伙) 32491 | 代理人: | 夏志杰 |
地址: | 215151 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种掺杂稀土元素的梯度功能改性镍金镀层及其制备方法,包含镍镀层、镍金梯度镀层和纯金镀层,镍金梯度镀层在镍镀层和纯金镀层中间,镍金梯度镀层掺杂有镧、铈、铒、钇中的至少一种稀土元素。镍金梯度镀层掺杂的稀土元素所占质量比为0.02%~0.2%。本发明的掺杂稀土元素的梯度功能改性镍金镀层利用磁控溅射镀膜技术制备,通过该方法制备的掺杂稀土元素的梯度功能改性镍金镀层可以改善镀层的致密度、覆盖性,提高金镀层和铜基材的结合能力,改善产品的导电性能和焊接性能,同时又降低了贵金属的使用量,该方法制备的产品成本低廉,节能环保,非常适用于微纳米电子工业。 | ||
搜索关键词: | 一种 掺杂 稀土元素 梯度 功能 改性 镀层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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