[发明专利]一种旋转钼管靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202010978797.8 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112376022B | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 张灵杰 | 申请（专利权）人： | 洛阳科威钨钼有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/18;B22F5/10 |
| 代理公司： | 洛阳公信联创知识产权代理有限公司 41190 | 代理人： | 王学鹏 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： |
一种旋转钼管靶材的制备方法，具体为：步骤一、将钼粉分两次装入带模具的胶套内，经烧结、冷却、泄压脱模得钼管毛坯，其中钼粉纯度99.96%，费氏粒度为2.0~3.0μm、粒度分布为单峰，正态分布，d（0,1）=6~6.5μm，d（0,5）=14~15μm，d（0,9）=40~45μm；步骤二、烧结后钼管毛坯经过高温喷射钼粉浆料后干燥，再经过空气锤平直，得钼管坯料；步骤三、平直后将钼管坯料进行精细加工得钼管靶材。本发明工艺简单，钼管内部结构均匀，无明显密度差距，烧结后旋转钼靶材坯料密度10.0g/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 旋转 钼管靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
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