[发明专利]化学机械研磨系统在审
| 申请号： | 202010979519.4 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112518570A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 林易生;沈稘翔;刘启人;徐俊伟;郑仰钧;陈科维 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/015;B24B37/10;B24B37/34;B24B49/14;B24B57/02;H05B3/00;H05B3/02 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 张泳;黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种化学机械研磨系统，包括一研磨垫，配置以研磨一基板。化学机械研磨系统还包括一加热系统，配置以调节研磨垫的温度。加热系统包括与研磨垫间隔开的至少一加热元件。化学机械研磨系统还包括一感应器，配置以测量研磨垫的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 系统 | ||
【主权项】：
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