[发明专利]一种电子束扫描制备石墨烯晶体薄膜的装置有效
| 申请号： | 202010979553.1 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112144123B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 许海鹰 | 申请（专利权）人： | 中国航空制造技术研究院 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100024 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种电子束扫描制备石墨烯晶体薄膜的装置，包括真空室及设于真空室顶部的电子枪，真空室的内部设有工作台，工作台上设有绝缘板，绝缘板上设有金属基板，金属基板上设有碳聚合物薄膜；碳聚合物薄膜外侧至真空室内侧顶部的电子束流输出口的区域笼罩有碳粉吸附罩，碳粉吸附罩包括内层和外层，内层和外层之间设有多个绝缘陶瓷块，内层接地，外层与第一直流电源电性连接，以使内层和外层之间形成第一吸附静电场，该第一吸附静电场用于吸附电子束扫描制备石墨烯晶体薄膜过程中产生的碳粉。本发明通过碳粉吸附罩可以最大限度吸附加工过程产生的碳粉，有效防止加工过程产生的碳粉对电子枪和真空室的污染，提高设备的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 扫描 制备 石墨 晶体 薄膜 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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