[发明专利]一种氮化物膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202010980255.4 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112071968A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 刘忠范;王若嵛;高鹏 | 申请（专利权）人： | 北京大学;北京石墨烯研究院 |
| 主分类号： | H01L33/32 | 分类号： | H01L33/32;H01L33/12;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 吴娅妮;于宝庆 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明一实施方式提供了一种氮化物膜及其制备方法，该方法包括：提供一基底，所述基底包括氮掺杂石墨烯层；以及，在所述氮掺杂石墨烯层上形成氮化物膜。本发明一实施方式的氮化物膜的制备方法，通过将氮原子掺入石墨烯骨架，形成了大量的悬挂键，有利于IIIA族氮化物层的成核生长，从而缩短了氮化物膜的生长时间，降低了器件生长成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化物 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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